奕帆半導體刻蝕車間固定式氟氣檢測儀廠家

簡要描述：深圳奕帆科技銀色固定式氟氣檢測儀，壓鑄鋁銀色防爆殼體，IP66 高防護，ExdⅡCT6 防爆等級，適配化工、半導體蝕刻車間 24 小時在線監(jiān)測氟氣泄漏。搭載專用電化學傳感器，T90 響應≤25s，測量精度 ±3% FS，抗鹵素氣體干擾。支持 4-20mA、RS485 雙信號輸出，可對接 PLC/DCS 中控系統(tǒng)，自帶多級聲光報警，繼電器聯(lián)動風機、切斷氣源。奕帆半導體刻蝕車間固定式氟氣檢測儀廠家

產(chǎn)品型號：YF-8500-F2
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2026-07-17
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深圳奕帆科技自研銀色固定式氟氣檢測儀，專為半導體晶圓刻蝕、清洗工藝場景打造，整機采用一體化銀色加厚防爆鋁合金機身，表面鈍化防腐處理，抵御氟氣強腐蝕性介質(zhì)長期侵蝕，是半導體工廠氟氣管路、工藝機臺、氣瓶存放區(qū) 24 小時不間斷在線監(jiān)測核心設備。氟氣屬于劇毒強腐蝕高危氣體，微量泄漏即可造成人員灼傷、設備腐蝕、生產(chǎn)線停機，本款儀器依據(jù)防爆國標研發(fā)，取得 CPA 計量認證、ExdIICT6 隔爆防爆資質(zhì)，防護等級 IP66，可穩(wěn)定運行在濕度 10%-95% RH 無凝露、-20℃~+50℃寬溫車間環(huán)境，適配半導體潔凈車間、危化工藝間防爆安裝要求。

儀器搭載進口專用電化學氟氣傳感器，量程標準 0-10ppm，分辨率 0.01ppm，檢測精度≤±3% FS，T90 響應時間＜20 秒，泄漏瞬間捕捉濃度變化，杜絕微量泄漏漏報、遲報問題。機身搭載 2.4 英寸高清彩色液晶顯示屏，銀色機身搭配高清背光屏，現(xiàn)場直觀展示實時氟氣濃度、高低報警閾值、設備運行狀態(tài)、溫濕度數(shù)據(jù)，支持中英文操作界面，紅外遙控器免開蓋標定、參數(shù)設置，無需專業(yè)拆機，車間運維人員可快速完成校準操作。信號傳輸兼容 4-20mA 三線制模擬信號、RS485-Modbus RTU 數(shù)字總線，雙信號同步輸出，最遠 2000 米穩(wěn)定傳輸，可直接對接廠區(qū) DCS 中控系統(tǒng)、環(huán)保在線監(jiān)測平臺、本地聲光報警主機，內(nèi)置 3 組無源繼電器，超標自動聯(lián)動排風風機、工藝設備停機、噴淋中和裝置，構(gòu)建全流程安全聯(lián)鎖防護體系。

模塊化熱插拔傳感器設計為本款銀色機型核心優(yōu)勢，傳感器獨立模塊，無需整機返廠，現(xiàn)場 5 分鐘即可完成更換、標定，大幅降低半導體工廠停機維護成本。整機內(nèi)置多級防雷、防反接電路，浪涌、錯接電源不會損壞設備，零點年漂移≤±1% FS，全年運行數(shù)值穩(wěn)定，無需頻繁校準。機身銀色噴砂工藝耐磨抗刮，長期在潔凈車間、酸堿揮發(fā)環(huán)境不易氧化褪色，壁掛、管道支架兩種安裝方式，配套標準防爆接線盒、固定支架，安裝布線簡單。

廣泛適配半導體芯片制造、光伏電池刻蝕、特種電子元器件生產(chǎn)車間，支持企業(yè)環(huán)保備案、安全生產(chǎn)標準化驗收，奕帆半導體刻蝕車間固定式氟氣檢測儀廠家，提供上門安裝調(diào)試、年度校準、終身技術(shù)支持服務，可按需定制 0-5ppm、0-50ppm 特殊量程，選配 NB-IoT 無線數(shù)據(jù)上傳模塊，實現(xiàn)遠程手機、電腦實時查看廠區(qū)氟氣監(jiān)測數(shù)據(jù)。整機長周期穩(wěn)定運行，降低車間安全事故風險，滿足應急管理、環(huán)保監(jiān)管雙重監(jiān)測需求。

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